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更新時間:2014-10-22
點擊次數:1638
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類型(及閥初始狀態) | 電磁調節閥(常閉) |
準確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復度 | ±0.2%F.S. |
響應時間 | ≤7sec |
作溫度范圍 | 5~45℃ |
作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) |
接頭選擇 | VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4"或φ6、φ3 |
重量 | 1.1Kg |